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如SRM 1648a,,PM 2.5,空氣顆粒物,硅粉

SRM 2133 - Si深度剖面中的磷種植 標(biāo)準(zhǔn)品

產(chǎn)品名稱:SRM 2133 - Si深度剖面中的磷種植 標(biāo)準(zhǔn)品

英文名稱:Phosphorus Implant in Si Depth Profile

品牌:美國NIST

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產(chǎn)品詳情
- COA - MSDS

NIST SRM 2133Si深度剖面中磷種植(標(biāo)準(zhǔn)品)旨在用于通過二次離子質(zhì)譜 (SIMS) 分析技術(shù)校準(zhǔn)對硅基質(zhì)中微量和痕量磷的二次離子響應(yīng),。 SRM 2133 用于校準(zhǔn) SIMS 儀器對磷的響應(yīng)特定儀器條件下的硅基體,。它也可以被實(shí)驗(yàn)室用作校準(zhǔn)硅中磷工作標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)。該 SRM 由一個(gè) 1 cm × 1 cm 的單晶硅襯底組成,,該襯底已離子注入同位素 31P,,標(biāo)稱能量為 100 keV。

360截圖20220215181057125.jpg

SRM 2133 已通過 31P 原子保留劑量認(rèn)證,。劑量以每單位面積的磷質(zhì)量單位表示,。基于 SIMS 分析,,提供了關(guān)于磷原子濃度隨地表以下深度變化的其他未經(jīng)認(rèn)證的信息,。




認(rèn)證值和不確定性:

NIST SRM 2133 Si深度剖面中磷種植(標(biāo)準(zhǔn)品)31P 原子的總保留劑量通過放射化學(xué)中子活化分析 (RNAA) 確定。將兩種獨(dú)立制備的磷參考溶液(其中一種是 NIST SRM 3139a 磷標(biāo)準(zhǔn)溶液,,經(jīng)過磷濃度認(rèn)證)的等分試樣沉積在鋁箔并作為標(biāo)準(zhǔn),。得到的認(rèn)證值和擴(kuò)展不確定度為: 認(rèn)證值中的不確定度表示為擴(kuò)展不確定度 U = kuc,其中 k 是 2.0 的覆蓋因子,,給出的近似置信水平為 95 %,uc 是計(jì)算得出的組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度根據(jù) ISO 指南 [1],。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是通過組合從測量過程中通過不確定度傳播得出或估計(jì)的單個(gè)標(biāo)準(zhǔn)不確定度獲得的 [1],。 A 型和 B 型標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來自以下主要來源的測量不確定度:(1) 樣品的測量重復(fù)和異質(zhì)性,(2) 比較標(biāo)準(zhǔn)的測量重復(fù),,(3) 標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度,,(4) 放射化學(xué)雜質(zhì),(5)標(biāo)準(zhǔn)的體積校準(zhǔn),,和(6)載體產(chǎn)量的測定,。已考慮所有已知的潛在不確定性來源






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