產(chǎn)品名稱:SRM 2841 - 半導(dǎo)體薄膜:Alx鎵1-xAs外延層(Al摩爾分數(shù))x?(接近0.20)標(biāo)準(zhǔn)品
英文名稱:Semiconductor Thin Film: AlxGa1-xAs Epitaxial Layers (Al mole fraction?x?near 0.20)
品牌:美國NIST
產(chǎn)品編號 | 規(guī)格 | 貨期 | 銷售價 | 您的折扣價 |
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SRM 2841 | disk | 現(xiàn)貨 | 27690 | 立即咨詢 |
本標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì) (SRM) 旨在用作測量薄膜成分的分析方法的參考標(biāo)準(zhǔn),,例如電子微探針分析 (EMPA)、光致發(fā)光 (PL),、俄歇電子能譜 (AES) 和 X 射線光電子能譜(XPS),。 SRM 2841 的一個單元由 AlxGa1-xAs 外延層組成,在安裝的砷化鎵 (GaAs) 基板上生長經(jīng)過認證的 Al 摩爾分數(shù) x使用膠帶粘貼到不銹鋼圓盤上,。每個單元都密封在含有氮氣氣氛的聚酯薄膜信封中,。正確使用 SRM 作為比較標(biāo)準(zhǔn)取決于分析方法(參見“測量條件和程序”和 NIST 特別出版物 260-163 [1])。
NIST SRM2841半導(dǎo)體薄膜:AlxGa1-xAs外延層(標(biāo)準(zhǔn)品)
認證鋁值:
NIST 認證值是 NIST 對其準(zhǔn)確性有最高置信度的值,,因為 NIST [2] 已調(diào)查或解釋了所有已知或可疑的偏差來源,。以摩爾分數(shù)表示的鋁 (Al) 的認證值在表 1 中提供。該認證值基于 Al 摩爾分數(shù)與薄膜 PL 光譜中峰強度能量之間已確認的相關(guān)性[ 3,4],。認證值的不確定度是擴展不確定度 (k = 2),,旨在接近 95% 的置信水平 [5]。對每個 SRM 單元進行了兩次額外的質(zhì)量檢查,。一,、分子在樣品生長過程中監(jiān)測束外延生長系統(tǒng)。為了作為 SRM 被接受,,由每個單元的反射高能電子衍射的強度振蕩確定的 Al 摩爾分數(shù)必須在其擴展的不確定性范圍內(nèi)與認證值一致,。其次,薄膜的自由載流子濃度必須在 1 × 1016 cm-3 和 5 × 1016 cm-3 之間
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表 1. SRM 2841 中鋁的認證值(摩爾分數(shù))
鋁:樣品 ± 樣品
證書有效期:SRM 2841 的認證在規(guī)定的測量不確定度內(nèi)有效期至 2031 年 8 月 1 日,,前提是 SRM 按照本證書中給出的說明進行處理和儲存(參見“操作說明,,儲存和使用”)。如果 SRM 損壞,、污染或以其他方式修改,,則認證無效。樣品的使用和儲存會增加表面氧化和污染,。對于對表面污染敏感的應(yīng)用,,SRM 和未知樣品需要就地清潔,通常是光濺射。如果濺射薄膜導(dǎo)致薄膜明顯變粗糙或出現(xiàn)選擇性濺射跡象,,則應(yīng)更換 SRM,。
NIST SRM2841半導(dǎo)體薄膜:AlxGa1-xAs外延層(標(biāo)準(zhǔn)品)